Projekt: AnoNas - Syntéza samouspořádaných, maskou vytvořených a povrch zlepšujících nanostruktur, kovů a oxidů kovů pro využití v mikro- a nanosoučástkách
Školitel: doc.Ing.Jaromír Hubálek, Ph.D.
Hostitelská instituce: Ústav mikroelektrotechniky, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií VUT Brno
Země původu: Bělorusko
Země vědeckého působení: Bělorusko, Španělsko, Japonsko
Délka projektu: 26 měsíců
Panel: Engineering
Abstrakt:
Stále rostoucí požadavky na vývoj miniaturních vysokovýkonných elektronických součástek motivuje výzkumníky a průmysl vytvářet a komercionalizovat nanomateriály a nanotechnologie. Tento projekt je velkou výzvou, jak zvýšit úroveň kvality nanotechnologií na Jižní Moravě na špičkovou úroveň. Projekt se zabývá vývojem koncepce založené na elektrochemii zahrnující přípravu, charakterizaci a aplikace 1-, 2- a 3-D uspořádaných nanostrukturovaných materiálů (kovů, polovodičů, dielektrik) s různými přizpůsobenými morfologiemi, vázanými na různé typy substrátů pro rozličné účely. Metodika zahrnuje syntézu nanostrukturovaných materiálů (1) samouspořádaných, (2) uspořádaných pomocí masky a (3) zlepšujících povrch: oxidačně stabilní kovy (Ta, Nb, Ti, W), jejich oxidy a nanokompozity. Speciální jemná anodizace hliníku a dalších usměrňujících kovů naprášených na substráty pro formování porézních a kompaktních filmů je použita jako klíčový krok v sekvenci výrobních procedur pro tvorbu nanostruktur požadovaného tvaru, hustoty a homogenního rozložení uspořádání. Míněnými technologiemi jsou elektro-fyzikální a chemicko-napařovací depozice, chemické a vysokoteplotní modifikační procesy. Budou studovány morfologie, složení, fyzikální a elektrické vlastnosti vyvinutých nanomateriálů, abychom nahlédli do vztahů mezi vytvářením, strukturou a vlastnostmi, a určili oblasti využití. Z potenciálních aplikací jmenujme multifunkční vrstvy pro budoucí mikro- a nanopřístroje: tenkovrstvé senzory, kondenzátory, mikrobaterie, funkcionalizované povrchy a uspořádané kvantové tečky pro biomedicínu. Tento projekt je týmová práce pod záštitou Laboratoře mikrosenzorů a nanotechnologií na VUT v Brně ve spolupráci s dalšími národními a mezinárodními týmy, institucemi a vedoucími výrobci elektronických součástek a systémů.